Art

J-GLOBAL ID：201102263979911859   Reference number：11A0481841

Design, fabrication and vacuum operation characteristics of two-dimensional comb-drive micro-scanner

2次元くし形電極駆動マイクロスキャナの設計,製作および真空動作特性

Author (2)： CHU Hoang Manh (Dep. of Nanomechanics, Tohoku Univ., Sendai 980-8579, JPN) ,  HANE Kazuhiro (Dep. of Nanomechanics, Tohoku Univ., Sendai 980-8579, JPN)
Material： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sens Actuators A)
Volume： 165  Issue： 2  Page： 422-430  Publication year： Feb. 2011 
JST Material Number： B0345C  ISSN： 0924-4247  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *scanner ,  electrode ,  hinge ,  resonance frequency ,  *micromachine ,  machine element ,  vacuum treatment
Semi thesaurus term： gimbal ,  *comb-type electrode

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (7)： 2次元 ,  くし形電極 ,  スキャナ ,  設計 ,  製作 ,  真空 ,  動作特性