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J-GLOBAL ID：201102268408824969   Reference number：11A1080515

A photopatternable superparamagnetic nanocomposite: Material characterization and fabrication of microstructures

光パターン形成性の超常磁性ナノ複合材料:材料特性化と微細構造の作製

Author (9)： SUTER M. (Micro and Nanosystems, ETH Zuerich, Tannenstrasse 3, 8092 Zuerich, CHE) ,  ERGENEMAN O. (Multi-Scale Robotics Lab, Inst. of Robotics and Intelligent Systems, ETH Zuerich, Tannenstrasse 3, 8092 Zuerich, CHE) ,  ZUERCHER J. (Micro and Nanosystems, ETH Zuerich, Tannenstrasse 3, 8092 Zuerich, CHE) ,  MOITZI C. (Adolphe Merkle Inst., Univ. of Fribourg, Rte de l’Ancienne Papeterie, P.O. Box 209, 1723 Marly, CHE) ,  PANE S. (Multi-Scale Robotics Lab, Inst. of Robotics and Intelligent Systems, ETH Zuerich, Tannenstrasse 3, 8092 Zuerich, CHE) ,  RUDIN T. (Particle Technol. Lab., ETH Zuerich, Sonneggstrasse 3, 8092 Zuerich, CHE) ,  PRATSINIS S.e. (Particle Technol. Lab., ETH Zuerich, Sonneggstrasse 3, 8092 Zuerich, CHE) ,  NELSON B.j. (Multi-Scale Robotics Lab, Inst. of Robotics and Intelligent Systems, ETH Zuerich, Tannenstrasse 3, 8092 Zuerich, CHE) ,  HIEROLD C. (Micro and Nanosystems, ETH Zuerich, Tannenstrasse 3, 8092 Zuerich, CHE)
Material： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sens Actuators B Chem)
Volume： 156  Issue： 1  Page： 433-443  Publication year： Aug. 10, 2011 
JST Material Number： T0967A  ISSN： 0925-4005  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *nanocomposites ,  *superparamagnetism ,  nano particle ,  *magnetite ,  *photoresist ,  *photolithography ,  pattern formation ,  volume fraction ,  contact angle ,  cantilever beam ,  micromachining ,  Young's modulus ,  concentration dependence ,  polyfunctional epoxy resin ,  X-ray diffractometry ,  small angle X-ray scattering ,  optical microscopy ,  dispersed particle ,  electron microscopy ,  spin coating ,  ultraviolet irradiation
Semi thesaurus term： *SU-8 ,  polymer nanocomposite ,  Magnetite Nanoparticles ,  microcantilever

JST classification (3)： Other reactions of polymer  (CG03040H) ,  Fillers,reinforcement  (YH05030J) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (6)： パターン形成 ,  常磁性 ,  ナノ複合材料 ,  材料特性 ,  微細構造 ,  作製