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J-GLOBAL ID：201102276138267577   Reference number：11A1585985

A Hypothesis Verification Method Using Regression Tree for Semiconductor Yield Analysis

半導体歩留り解析のための回帰木に基づく仮説検証手法の提案

Author (5)： TSUDA HIDETAKA (富士通(株)) ,  SHIRAI HIDEHIRO (富士通セミコンダクターITシステムズ(株)) ,  TERABE MASAHIRO ((株)三菱総合研究所) ,  HASHIMOTO KAZUO (東北大学大学院情報科学研究科) ,  SHINOHARA AYUMI (東北大学大学院情報科学研究科)
Material： 電気学会論文誌 D  (IEEJ Transactions on Industry Applications)
Volume： 131  Issue： 10  Page： 1232-1239 (J-STAGE)  Publication year： 2011 
JST Material Number： X0451A  ISSN： 0913-6339  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *semiconductor process ,  *quality control ,  hypothesis testing ,  *data mining
Semi thesaurus term： *hypothesis testing ,  *yield ,  semiconductor device manufacture ,  *semiconductor process

JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Statistical quality control  (KB04030W)

Reference (9)：

• (1) 二見良治:QC手法入門, 日科技連 (1992)
• (2) 鐵 健司:品質管理のための統計的方法入門, 日科技連 (1997)
• (3) R. Agrawal, T. Imilienski, and A. Swami: “Mining Association Rules between Sets of Items in Large Databases”, Proc. of the ACM SIGMOD International Conference on Management of Data, Vol. 22, No. 2, pp. 207-216 (1993)
• (4) U. M. Fayyad, G. Piatetsky-Shapiro, P. Smyth, and R. Uthurusamy: “Advances in Knowledge Discovery and Data Mining”, AAAI/MIT Press (1996)
• (5) 大滝 厚・堀江宥治・Dan Steinberg:応用2進木解析法, 日科技連 (1999)

Terms in the title (6)： 歩留り ,  解析 ,  回帰木 ,  仮説検証 ,  手法 ,  提案