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J-GLOBAL ID：201102284878663673   Reference number：11A1792964

Mechanical properties of high-density diamond like carbon (HD-DLC) films prepared using filtered arc deposition

フィルタ処理したアーク蒸着を用いて調製した高密度ダイヤモンドライクカーボン(HD-DLC)膜の機械的性質

Author (4)： YASUI Haruyuki ,  TAKI Makoto ,  HASEGAWA Yushi ,  TAKAGO Shigeki
Material： Surface & Coatings Technology  (Surf Coat Technol)
Volume： 206  Issue： 5  Page： 1003-1006  Publication year： Nov. 25, 2011 
JST Material Number： D0205C  ISSN： 0257-8972  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *ion plating ,  *DLC film ,  *mechanical property ,  electric current ,  substrate temperature ,  bias ,  wafer ,  tungsten carbide ,  indentation hardness ,  friction ,  friction coefficient ,  density ,  cutting tool
Semi thesaurus term： arc electric current ,  Si wafer ,  *filtered cathodic arc deposition ,  dense

JST classification (2)： Carbon and its compounds  (YB02060D) ,  Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Terms in the title (8)： フィルタ処理 ,  アーク蒸着 ,  調製 ,  高密度 ,  ダイヤモンドライクカーボン ,  HD ,  DLC ,  機械的性質