Art

J-GLOBAL ID：201102285510842965   Reference number：11A0565966

Micromachined Piezoresistive Accelerometers Based on an Asymmetrically Gapped Cantilever

非対称型ギャップ付きの片持梁を基礎にした微細加工ピエゾ抵抗式加速度計

Author (4)： LI Yuefa (Wayne State Univ., MI, USA) ,  ZHENG Qinglong (Wayne State Univ., MI, USA) ,  HU Yating (Wayne State Univ., MI, USA) ,  XU Yong (Wayne State Univ., MI, USA)
Material： Journal of Microelectromechanical Systems  (J Microelectromechanical Syst)
Volume： 20  Issue： 1  Page： 83-94  Publication year： Feb. 2011 
JST Material Number： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： asymmetry ,  cantilever beam ,  gap ,  device structure ,  *micromachine ,  *accelerometer ,  *piezoresistance effect ,  optimum design ,  SOI structure ,  speed sensor

JST classification (1)： Measuring methods and instruments of time,speed,acceleration,angular veloc?  (AD05040K)

Terms in the title (7)： 対称型 ,  ギャップ ,  片持梁 ,  基礎 ,  微細加工 ,  ピエゾ抵抗 ,  加速度計