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J-GLOBAL ID：201102289000984230   Reference number：11A0618394

カーボンオニオンのナノ砥粒としての適用可能性に関する研究

Author (2)： KOGO HIROYASU (東京工大 大学院) ,  HIRATA ATSUSHI (東京工大 大学院理工学研究科)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 77  Issue： 3  Page： 311-315  Publication year： Mar. 05, 2011 
JST Material Number： F0268C  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： molecular cluster ,  carbon ,  diamond ,  *ultrafine particle ,  *abrasive grain ,  wafer ,  silicon ,  *polishing(machining) ,  surface roughness ,  *heat treatment ,  temperature dependence ,  polished surface
Semi thesaurus term： *carbon onion ,  *Si wafer ,  *Nanodiamonds ,  polishing rate

JST classification (2)： Grinding  (QC03000R) ,  Carbon and its compounds  (YB02060D)

Reference (8)：

• 1) Hiroshi Makita : NEW DIAMOND, 12, 3, (1996) 8 (in Japanese).
• 2) Eiji Osawa : Function & Materials, <b>29</b>, 6, (2009) 5 (in Japanese).
• 3) Weimin Lin, Teruko Kato, Hitoshi Ohmori, Eiji Osawa : Study on tribo-fabrication in polishing by nano diamond colloid, Journal of the Japan Society for Abrasive Technology, 52, 8, (2008) 439 (in Japanese).
• 4) D. Ugarate : Onion-Like Graphitec Particles, carbon, 33, 7, (1995) 989.
• 5) Yu. V. Butenko, S. Krishnamurthy, A. K. Chakraborty, V. L. Kuzenetsov, V, R, Dhanak, M. R. C. Hunt : Photoemission Study of Onionlike Carbons Produced by Annealing nanodiamonds, Phys. Rev, B71, (2005), 075420.

Terms in the title (4)： カーボンオニオン ,  砥粒 ,  適用可能性 ,  研究