Art

J-GLOBAL ID：201102289348501437   Reference number：11A1908738

Self-elongated growth of nanopores in annealed amorphous Ta₂O₅ films

焼なましした非晶質Ta₂O₅皮膜におけるナノポアの自己伸張成長

Author (6)： NAKAMURA R. (The Inst. of Scientific and Industrial Res., Osaka Univ., Mihogaoka 8-1, Ibaraki, Osaka 567-0047, JPN) ,  TANAKA K. (The Inst. of Scientific and Industrial Res., Osaka Univ., Mihogaoka 8-1, Ibaraki, Osaka 567-0047, JPN) ,  ISHIMARU M. (The Inst. of Scientific and Industrial Res., Osaka Univ., Mihogaoka 8-1, Ibaraki, Osaka 567-0047, JPN) ,  SATO K. (Inst. for Materials Res., Tohoku Univ., Katahira 2-1-1, Sendai 980-8577, JPN) ,  KONNO T.j. (Inst. for Materials Res., Tohoku Univ., Katahira 2-1-1, Sendai 980-8577, JPN) ,  NAKAJIMA H. (The Inst. of Scientific and Industrial Res., Osaka Univ., Mihogaoka 8-1, Ibaraki, Osaka 567-0047, JPN)
Material： Scripta Materialia  (Scr Mater)
Volume： 66  Issue： 3-4  Page： 182-185  Publication year： Feb. 2012 
JST Material Number： B0915A  ISSN： 1359-6462  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *tantalum oxide ,  *evaporated film ,  *porosity (property) ,  self assembly ,  free volume ,  crystallization ,  annealing (heat treatment) ,  preferred orientation ,  crystal structure ,  anisotropy ,  nano void ,  *nanoporous

JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (8)： 焼なまし ,  非晶質 ,  Ta2O5 ,  皮膜 ,  ナノポア ,  自己 ,  伸張 ,  成長