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J-GLOBAL ID：201102290962383570   Reference number：11A1769436

Fabrication of Metallic Microneedle by Electroplating and Sharpening of it by Electrochemical Etching

電解メッキによる金属微細針の作製と電解エッチングによる先鋭化

Author (7)： KO SHIGO (関西大学) ,  TANAKA TAKAHIRO (関西大学) ,  TAKAOKI YUTAKA (関西大学) ,  IZUMI HAYATO (名古屋工業大学) ,  TAKAHASHI TOMOKAZU (関西大学) ,  SUZUKI MASATO (関西大学) ,  AOYAGI SEIJI (関西大学)
Material： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
Volume： 131  Issue： 11  Page： 373-380 (J-STAGE)  Publication year： 2011 
JST Material Number： L3098A  ISSN： 1341-8939  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *electrolytic etching ,...
Semi thesaurus term： electrolytic plating ,...

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JST classification (3)： Medical instruments and apparatuses  (GA05020L) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Electroplating  (WC08023B)

Reference (21)：

• HENRY, S. Micromachined Needles for the Transdermal Delivery of Drugs. Proc. MEMS'98. 1998, 494-498
• CAMPBELL, P. K. A Silicon-Based, Three-Dimensional Neural Interface : Manufacturing Processes for an Intracortical Electrode Array. IEEE Trans. Biomed. Eng. 1991, 38, 8, 758-768
• GRISS, P. Spiked biopotential electrodes. Proc. MEMS'00. 2000, 323-328
• SHIKIDA, M. Fabrication of Pen-Shaped Microneedle Structure by using Non-Photolithographic Pattern Transfer. Proc. Transducers'03. 2003, 1671-1674
• MCALLISTER, D. V. Three-Dimensional Hollow Microneedle and Microtube Arrays. Proc. Transducers '99. 1999, 1098-1101

Terms in the title (5)： 電解メッキ ,  微細針 ,  作製 ,  電解エッチング ,  先鋭化