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J-GLOBAL ID：201102293451896820   Reference number：11A1295299

Hollow Tube Fabrication in Photoresist Film Using Continuous Wave Laser

フォトレジスト膜中での中空円筒の連続波レーザによる作製

Author (2)： TOMIYASU Masateru (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  EGAMI Chikara (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
Material： Optical Review  (Opt Rev)
Volume： 18  Issue： 4  Page： 357-359  Publication year： Aug. 01, 2011 
JST Material Number： L2272A  ISSN： 1340-6000  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *photoresist ,  nonlinear optical material ,  *laser beam machining ,  optical microscopy ,  confocal microscope

JST classification (1)： Nonlinear optics  (BD05000T)

Reference (5)：

• TANAKA, T. Appl. Phys. Lett. 2002, 80, 312
• KONDO, T. Appl. Phys. Lett. 2003, 82, 2760
• FRITZE, M. Opt. Lett. 1998, 23, 141
• EGAMI, C. Opt. Commun. 2007, 280, 188
• EGAMI, C. Proc. SPIE. 2009, 7522, 75225G

Terms in the title (4)： フォトレジスト膜 ,  中空円筒 ,  連続波レーザ ,  作製