Art

J-GLOBAL ID：201102299355321881   Reference number：11A0791192

Secondary ion counting for surface-sensitive chemical analysis of organic compounds using time-of-flight secondary ion mass spectroscopy with cluster ion impact ionization

クラスタイオン衝撃イオン化による飛行時間2次イオン質量分析法を用いる有機化合物の表面感応化学分析のための2次イオンの計数

Author (6)： HIRATA K. (National Metrology Inst. of Japan, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Higashi ...) ,  SAITOH Y. (Takasaki Advanced Radiation Res. Inst. (TARRI), Japan Atomic Energy Agency (JAEA), Takasaki Gumma 370-1292, JPN) ,  CHIBA A. (Takasaki Advanced Radiation Res. Inst. (TARRI), Japan Atomic Energy Agency (JAEA), Takasaki Gumma 370-1292, JPN) ,  YAMADA K. (Takasaki Advanced Radiation Res. Inst. (TARRI), Japan Atomic Energy Agency (JAEA), Takasaki Gumma 370-1292, JPN) ,  TAKAHASHI Y. (Advanced Sci. Res. Center, Japan Atomic Energy Agency (JAEA), Takasaki, Gumma 370-1292, JPN) ,  NARUMI K. (Advanced Sci. Res. Center, Japan Atomic Energy Agency (JAEA), Takasaki, Gumma 370-1292, JPN)
Material： Review of Scientific Instruments  (Rev Sci Instrum)
Volume： 82  Issue： 3  Page： 033101  Publication year： Mar. 2011 
JST Material Number： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *cluster ion ,  *collisional ionization ,  *TOF ,  *secondary ion mass spectrometry ,  silicon ,  semiconductor ,  polytetrafluoroethylene ,  secondary ion emission ,  *yield ,  TOF-SIMS

JST classification (1)： Mass spectrometers  (BD02060M)

Terms in the title (7)： クラスタイオン ,  衝撃イオン化 ,  飛行時間2次イオン質量分析 ,  有機化合物 ,  化学分析 ,  2次イオン ,  計数