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J-GLOBAL ID:201103000670289714
電子加速装置
Inventor:
,
,
,
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Applicant, Patent owner:
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Agent (5):
三好 秀和
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2010108068
Publication number (International publication number):2011238435
Application date: May. 10, 2010
Publication date: Nov. 24, 2011
Summary:
【課題】連続的な運転が可能で小型な電子加速装置を提供する。【解決手段】レーザ光を発生するレーザ光源11と、このレーザー光を真空室に導く光学系12と、真空室中で光学系に導かれたレーザ光を照射し、プラズマを形成してレーザ光の進行方向と同じ方向に高速電子を発生させるプラズマ媒体を供給する供給手段13,14と、レーザ光の光路を挟んで供給手段と対向する位置に設置され、供給手段によってレーザ光に供給されたプラズマ媒体を回収する回収手段15,16とを備える。【選択図】図1
Claim (excerpt):
レーザ光を発生するレーザ光源と、
真空室中でレーザ光に、プラズマを形成してレーザ光の進行方向と同じ方向に電子を発生させるプラズマ媒体を供給する供給手段と、
レーザ光の光路を挟んで前記供給手段と対向する位置に設置され、前記供給手段によってレーザ光に供給されたプラズマ媒体を回収する回収手段と、
を備えることを特徴とする電子加速装置。
IPC (3):
H05H 15/00
, H05H 1/24
, G21K 1/00
FI (3):
H05H15/00
, H05H1/24
, G21K1/00 E
F-Term (2):
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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レーザーを利用した放射線発生装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-259758
Applicant:財団法人国際科学振興財団
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フォトリソグラフィ用のエネルギー放出システム
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2000-542116
Applicant:アドヴァンストエナジーシステムズインコーポレイテッド
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レーザー励起X線発生装置及び方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-287385
Applicant:株式会社筑波リエゾン研究所
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EUV光源、露光装置及び露光方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-195019
Applicant:株式会社ニコン
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特開昭64-015333
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