多孔性有機無機ハイブリッド膜を用いたガスセンサ及びその製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：須藤政彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010198055
Publication number (International publication number)：2011080983
Application date： Sep. 03, 2010
Publication date： Apr. 21, 2011
Summary：

【課題】多孔性有機無機ハイブリッド粒子を用いた水晶振動子(QCM)ガスセンサ及びその製造方法を提供する。【解決手段】測定する対象ガスと多孔性有機無機ハイブリッド粒子との吸着特性を利用してVOCガス検知を行う水晶振動子ガスセンサであって、層状無機化合物の層間に有機残基が挿入、固定されている多孔性有機無機ハイブリッド粒子が水晶振動子電極上に検知膜として積層された構造を有するガスセンサ、及び上記多孔性有機無機ハイブリッド粒子の縣濁溶液を、水晶電極上に滴下、もしくは当該溶液中に電極を浸漬引き上げ後、乾燥することにより、多孔性有機無機ハイブリッド粒子を水晶振動子電極上に検知膜として積層する、水晶振動子ガスセンサの製造方法。【効果】良好な応答回復性、再現性を有するVOCガスセンサに関する新技術を提供することができる。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

測定する対象ガスと層状無機化合物粒子との吸着特性を利用してVOCガス検知を行う水晶振動子(QCM)ガスセンサであって、層状無機化合物の層間に有機残基が挿入、固定されている多孔性有機無機ハイブリッド粒子が水晶振動子電極上に検知膜として積層された構造を有することを特徴とするガスセンサ。

IPC (1)：

G01N 5/02

FI (1)：

G01N5/02 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

新規な有機/無機酸化物多層材料
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-048323 Applicant：インダストリアルリサーチリミテッド
匂いセンサおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-348567 Applicant：昭和電工株式会社
芳香族化合物-層状無機化合物多孔体及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-025493 Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

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