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J-GLOBAL ID:200903037589054837
ガスセンサの製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
西川 惠清
, 森 厚夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2007220301
Publication number (International publication number):2009053054
Application date: Aug. 27, 2007
Publication date: Mar. 12, 2009
Summary:
【課題】高度な設備を必要とすることなく、速い製膜速度で、剥離等の問題なく、有機無機ハイブリッド材料の薄膜を容易に形成することができるガスセンサの製造方法を提供する。【解決手段】層状構造を有する無機化合物の層間に有機物を挿入した有機無機ハイブリッド材料を用いて形成されるガスセンサの製造方法に関する。層状無機化合物と有機物とを含有する液体に電極を浸漬して電界を加えることによって、電極の表面に層状無機化合物と有機物を交互に積層させて有機無機ハイブリッド材料を形成する。【選択図】図1
Claim (excerpt):
層状構造を有する無機化合物の層間に有機物を挿入した有機無機ハイブリッド材料を用いて形成されるガスセンサの製造方法であって、層状無機化合物と有機物とを含有する液体に電極に浸漬して電界を加えることによって、電極の表面に層状無機化合物と有機物を交互に積層させて有機無機ハイブリッド材料を形成することを特徴とするガスセンサの製造方法。
IPC (1):
FI (1):
F-Term (10):
2G046AA25
, 2G046BA01
, 2G046BA09
, 2G046BB02
, 2G046FA01
, 2G046FB02
, 2G046FC01
, 2G046FE22
, 2G046FE38
, 2G046FE44
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
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ガスセンサ及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-066108
Applicant:独立行政法人産業技術総合研究所
-
有機無機ハイブリッド薄膜及びその作製方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-422141
Applicant:独立行政法人産業技術総合研究所
Cited by examiner (4)