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J-GLOBAL ID:201103018087278816

支持部材に懸垂された超薄型シートを形成する方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 柏原 三枝子 ,  高橋 剛一 ,  柴田 雅仁
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2011501301
Publication number (International publication number):2011520212
Application date: Mar. 26, 2009
Publication date: Jul. 14, 2011
Summary:
外側領域で支持部材に固定される超薄型シート(26)の材料を具える物品(2)を生成する方法であって、当該方法が:基板(20)上に超薄型シートを提供するステップと;前記超薄型シートの前記外側領域が前記支持部材と前記基板との間に挟持され、かつ前記支持部材に接着されるように前記超薄型シートの前記外側領域上に前記支持部材を形成するステップと;前記物品を残すように気化又は溶剤を用いた溶解ステップによって前記基板を除去し、物品を除去するステップと;を具える方法。前記超薄型シートはその外縁部を囲んで支持され、前記超薄型シートはその他の材料と接触しない中央領域を有する。【選択図】図1、図2
Claim (excerpt):
外側領域で支持部材に固定される超薄型シートの材料を具える物品を生成する方法であって、当該方法が:基板上に超薄型シートを提供するステップと;前記超薄型シートの前記外側領域が前記支持部材と前記基板との間に挟持され、かつ前記支持部材に接着されるように前記超薄型シートの前記外側領域上に前記支持部材を形成するステップと;前記物品を残すように前記基板を除去するステップと;を具えることを特徴とする方法。
IPC (1):
H01J 37/20
FI (1):
H01J37/20 A
F-Term (2):
5C001AA01 ,  5C001CC01
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)

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