Pat
J-GLOBAL ID：201103028747023366

イオン液体を有するブロック共重合体膜の自己組織化における長距離秩序を改善する方法

Inventor：
レグナー,ジェニファー カール

About レグナー,ジェニファー カール


Applicant, Patent owner：
マイクロン テクノロジー, インク.

About マイクロン テクノロジー, インク.


Agent (2)： 野村 泰久 ,  大菅 義之
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2011500847
Publication number (International publication number)：2011518652
Application date： Mar. 03, 2009
Publication date： Jun. 30, 2011
Summary：
自己組織化ブロック共重合体を使用して、改良された長距離秩序を有する、ポリマーマトリクスにおけるナノスケールの交互ラメラもしくは円筒のアレイを作製するための方法、ならびに、これらの方法から形成される膜およびデバイスが提供される。
Claim (excerpt)：
基板上にナノ構造のポリマー材料を形成する方法であって、 前記基板上の材料層内のトレンチ内に自己組織化ラメラ相ブロック共重合体組成物を形成するステップであって、前記トレンチは、長さ、中性湿潤底面、および前記ブロック共重合体の第一のブロックに対して優先的に湿潤である、対立する複数の側壁および複数の終端を有し、前記ブロック共重合体組成物は、ブロック共重合体とイオン液体とのブレンドを含む、ステップと、 前記ブロック共重合体材料が、前記トレンチ底面に対して垂直に配向され、前記トレンチの前記長さを伸長する前記ブロック共重合体の前記第一のブロックおよび第二のブロックの複数の交互ラメラドメインへと自己組織化するように、前記ブロック共重合体材料をアニーリングするステップと、 を含む、 ことを特徴とする方法。
IPC (2)：
B05D 7/24 ,  C08J 5/00
FI (2)：
B05D7/24 301Z ,  C08J5/00
F-Term (29)：
3C081BA04 ,  3C081CA14 ,  3C081CA15 ,  3C081CA23 ,  3C081CA31 ,  3C081CA40 ,  3C081DA10 ,  4D075BB60Z ,  4D075BB66Z ,  4D075DA06 ,  4D075DB14 ,  4D075EA06 ,  4D075EB22 ,  4D075EB49 ,  4F071AA75 ,  4F071AB24 ,  4F071AB25 ,  4F071AB27 ,  4F071AC05 ,  4F071AC09 ,  4F071AC10 ,  4F071AC12 ,  4F071AC14 ,  4F071AC15 ,  4F071AE04 ,  4F071AE10 ,  4F071AE22 ,  4F071AG28 ,  4F071AH19
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (1)
Article cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM