Pat

J-GLOBAL ID：201103031532886291

放電イオン化電流検出器

Inventor： 北野 勝久 ,  品田 恵
Applicant, Patent owner： 国立大学法人大阪大学 ,  株式会社島津製作所
Agent (1)： 特許業務法人京都国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009276091
Publication number (International publication number)：2011117854
Application date： Dec. 04, 2009
Publication date： Jun. 16, 2011
Summary：

【課題】低周波誘電体バリア放電の放電開始電圧を下げることにより高圧電源部のコストダウンを図る。【解決手段】プラズマガス(He)が流れる円筒管2の外部に配置した光源部20から、円筒管2の壁面を通してガス流路4中のプラズマ生成領域(プラズマ生成用電極6、7の間の領域)に光を照射する。光エネルギーによりHe分子又はHeガス中の微量不純物ガス分子は励起され光電離が生じるため、通常の放電開始電圧よりも低い低周波電圧を電極5と6、7との間に印加した状態で放電が開始され、プラズマが形成される。一旦放電が開始されると通常の放電維持電圧を電極5と6、7との間に印加していれば放電は持続するから、放電開始時に短い時間だけ光源部20をオンすればよい。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

放電により所定ガスからプラズマを発生させために、少なくとも1つの表面が誘電体で被覆された対をなす放電用電極、及び前記放電用電極に低周波交流電圧を印加する電圧印加手段を含む放電生起手段と、生起されたプラズマの作用によってイオン化された気体状の試料成分によるイオン電流を検出する電流検出手段と、を具備する放電イオン化電流検出器において、 前記放電用電極によるプラズマの生成領域に対し光を照射する光照射手段を備えることを特徴とする放電イオン化電流検出器。

IPC (2)：

G01N 27/70 ,  G01N 30/64

FI (2)：

G01N27/70 ,  G01N30/64 F

F-Term (3)：

2G041CA04 ,  2G041DA07 ,  2G041EA05