単結晶窒化ケイ素ナノシートとその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (11)：社本一夫 , 小野新次郎 , 小林泰 , 千葉昭男 , 富田博行 , 桜井周矩 , 神田藤博 , 田中英夫 , 細川伸哉 , 深澤憲広 , 平山晃二
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2004352353
Publication number (International publication number)：2006160548
Patent number：4572382
Application date： Dec. 06, 2004
Publication date： Jun. 22, 2006
Claim (excerpt)：

【請求項1】出発原料としてケイ素粉末を用い、窒素雰囲気中で非密封状態の容器中に入れ、1300°C〜1400°C(ケイ素粉末の溶融点以下)の温度及び電気炉内断面積が25cm2あたり0.5l/min以上の窒素ガス流量で、30時間反応させて、1μm×1μm以上で厚みが20nm以下の単結晶窒化ケイ素ナノシートを製造する方法。

IPC (1)：

C01B 21/068 ( 200 6.01)

FI (1)：

C01B 21/068 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開昭63-151603
特開昭61-266305
特開平1-201012

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