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J-GLOBAL ID：201103044913317123

微量金属捕集用液体濾過フィルタ

Inventor： 玉田 正男 ,  瀬古 典明 ,  植木 悠二 ,  竹田 俊英 ,  中野 正憲 ,  川野 伸一 ,  阿部 嗣 ,  宮川 清和
Applicant, Patent owner： 独立行政法人日本原子力研究開発機構 ,  倉敷繊維加工株式会社 ,  野村マイクロ・サイエンス株式会社
Agent (1)： 河備 健二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010100637
Publication number (International publication number)：2011231163
Application date： Apr. 26, 2010
Publication date： Nov. 17, 2011
Summary：

【課題】 半導体用シリコンウエハーの研磨液、アルカリ洗浄液、洗浄用超純水、工業用無機薬品、有機溶媒、工業排液などに含まれる金属化合物、金属イオンを高精度に除去し、かつ自ら不純物の金属溶出を低減した液体濾過用フィルタを提供する。【解決手段】 下記式[1]で示されるエチレン単位とノルボルネン単位を含むエチレン・ノルボルネン共重合体を素材とするメルトブロー不織布基材からなる液体濾過フィルタであって、該エチレン・ノルボルネン共重合体は、ガラス転移温度(Tg)が80〜180°Cであり、メルトボリュームレート(MVR)(試験法ISO 1133準拠、測定条件:260°C、2.16kg)が30cm3/10分以上であり、且つ該メルトブロー不織布基材は、平均繊維径が1〜30μmの繊維で構成されることを特徴とする液体濾過フィルタなど。 【化1】【選択図】なし

Claim (excerpt)：

下記式[1]で示されるエチレン単位とノルボルネン単位を含むエチレン・ノルボルネン共重合体を素材とするメルトブロー不織布基材からなる液体濾過フィルタであって、 該エチレン・ノルボルネン共重合体は、ガラス転移温度(Tg)が80〜180°Cであり、メルトボリュームレート(MVR)(試験法ISO 1133準拠、測定条件:260°C、2.16kg)が30cm3/10分以上であり、且つ、該メルトブロー不織布基材は、平均繊維径が1〜30μmの繊維で構成されることを特徴とする液体濾過フィルタ。

IPC (14)：

C08F 255/02 ,  C08F 277/00 ,  C08F 8/00 ,  B01D 39/16 ,  B01D 39/14 ,  B01J 45/00 ,  B01J 47/12 ,  C02F 1/42 ,  B01J 39/20 ,  B01J 41/14 ,  D04H 1/42 ,  D04H 3/16 ,  D06M 14/28 ,  D06M 15/263

FI (16)：

C08F255/02 ,  C08F277/00 ,  C08F8/00 ,  B01D39/16 A ,  B01D39/14 B ,  B01J45/00 S ,  B01J45/00 T ,  B01J45/00 U ,  B01J47/12 G ,  C02F1/42 E ,  B01J39/20 H ,  B01J41/14 D ,  D04H1/42 K ,  D04H3/16 ,  D06M14/28 ,  D06M15/263

F-Term (54)：

4D019AA03 ,  4D019BA13 ,  4D019BB03 ,  4D019BC04 ,  4D019BD01 ,  4D019DA03 ,  4D025AA09 ,  4D025AB18 ,  4D025AB19 ,  4D025AB20 ,  4D025AB21 ,  4D025AB22 ,  4D025AB23 ,  4D025AB33 ,  4D025BA01 ,  4D025BA09 ,  4D025BA17 ,  4D025BA26 ,  4J026AA11 ,  4J026AA12 ,  4J026BA16 ,  4J026BA30 ,  4J026BB01 ,  4J026BB07 ,  4J026DB04 ,  4J026DB08 ,  4J026DB24 ,  4J026DB36 ,  4J026DB40 ,  4J026EA09 ,  4J026FA01 ,  4J026GA08 ,  4J100BA38H ,  4J100BA46H ,  4J100BA56H ,  4J100HA61 ,  4J100HB53 ,  4J100HC47 ,  4J100HC59 ,  4J100HE12 ,  4J100HG14 ,  4J100JA18 ,  4L033AA05 ,  4L033AB07 ,  4L033AC15 ,  4L033CA18 ,  4L047AA14 ,  4L047AB02 ,  4L047AB03 ,  4L047AB07 ,  4L047AB08 ,  4L047AB10 ,  4L047CB10 ,  4L047CC12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• シクロオレフィンポリマーを含むミクロファイバウェブの製造
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2001-508404   Applicant：ティコナゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
• 液体濾過用カートリッジフィルタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2007-266125   Applicant：独立行政法人日本原子力研究開発機構, 倉敷繊維加工株式会社
• 錯体形成基を有する多孔性中空糸膜及び該多孔性中空糸膜による酸化ゲルマニウムの回収方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2006-327003   Applicant：株式会社浅井ゲルマニウム研究所