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J-GLOBAL ID：201103052660026545
誘電経路の数値解析装置
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：
役 昌明
, 林 紘樹
, 役 学
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009191632
Publication number (International publication number)：2011043982
Application date： Aug. 21, 2009
Publication date： Mar. 03, 2011
Summary：
【課題】誘電体内部の誘電作用の伝達特性を求めて、誘電体の比誘電率を評価する。【解決手段】解析対象誘電体のパラメータを入力手段1から入力して、パラメータ記憶手段2に保持する。パラメータに基づいて、誘電作用に関する伝達特性指標U*を、誘電U*計算手段3で有限要素法により計算する。伝達特性指標U*から誘電作用伝達特性を、伝達特性計算手段4で求める。誘電作用伝達特性を解析して、表現手段5で比誘電率を評価して表現データを作成し、出力手段6で映像表示する。所望の比誘電率の構造が求まるまで、評価を高める方向にパラメータを変更して計算する。静電場における伝達特性指標U*を用いることで、はじめて、静電誘導の程度や誘電作用の伝達特性を表現できる。これにより、低誘電率のLSI層間絶縁膜を設計できる。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
伝達特性指標U*を誘電体に適用して、誘電体構造の比誘電率を求める数値解析装置であって、解析対象誘電体の構造と特性に関するパラメータを保持する記憶手段と、前記パラメータに基づいて前記解析対象誘電体の誘電作用に関する伝達特性指標U*を有限要素法により計算する有限要素法計算手段と、前記誘電作用に関する伝達特性指標U*から誘電作用伝達特性を求める誘電作用伝達特性計算手段と、前記誘電作用伝達特性を解析して比誘電率を評価して表示データを作成する表現手段と、前記表示データを映像化する出力手段とを具備することを特徴とする数値解析装置。
IPC (1)：
FI (3)：
G06F17/50 612C
, G06F17/50 612H
, G06F17/50 680Z
