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J-GLOBAL ID：201103058490196333

樹脂パターンの製造方法

Inventor：
植松 照博

About 植松 照博

, 
信太 勝

About 信太 勝

, 
山口 尚人

About 山口 尚人


Applicant, Patent owner：
東京応化工業株式会社

About 東京応化工業株式会社


Agent (1)： 正林 真之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010081828
Publication number (International publication number)：2011215270
Application date： Mar. 31, 2010
Publication date： Oct. 27, 2011
Summary：
【課題】破壊強度を良好に保ちながら、高さの異なる樹脂パターンを同時に製造する樹脂パターンの製造方法を提供する。【解決手段】本発明に係る樹脂パターンの製造方法は、アルカリ可溶性樹脂(A)、光重合性モノマー(B)、光重合開始剤(C)、及び特定の波長領域の光を吸収する光吸収剤(D)を含有する感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、感光性樹脂層を形成する塗布工程と、上記感光性樹脂層を所望のパターンに応じて異なる露光量で露光する露光工程と、露光した上記感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する現像工程と、を含む。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
アルカリ可溶性樹脂(A)、光重合性モノマー(B)、光重合開始剤(C)、及び特定の波長領域の光を吸収する光吸収剤(D)を含有する感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、感光性樹脂層を形成する塗布工程と、 前記感光性樹脂層を所望のパターンに応じて異なる露光量で露光する露光工程と、 露光した前記感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する現像工程と、を含む樹脂パターンの製造方法。
IPC (7)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/20 ,  G02F 1/133 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/48 ,  C08F 220/00
FI (7)：
G03F7/004 501 ,  G03F7/033 ,  G03F7/20 501 ,  G02F1/1339 500 ,  C08F2/44 Z ,  C08F2/48 ,  C08F220/00
F-Term (56)：
2H097BB01 ,  2H125AC36 ,  2H125AC57 ,  2H125AD06 ,  2H125AE13P ,  2H125AN19P ,  2H125AN21P ,  2H125AN29P ,  2H125AN36P ,  2H125AN39P ,  2H125BA01P ,  2H125BA09P ,  2H125BA10P ,  2H125BA22P ,  2H125CA22 ,  2H125CB06 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  2H125CD23P ,  2H125CD40 ,  2H189DA07 ,  2H189DA31 ,  2H189EA06X ,  2H189FA16 ,  2H189FA82 ,  2H189HA14 ,  4J011AA05 ,  4J011AC04 ,  4J011PA25 ,  4J011PA69 ,  4J011PB40 ,  4J011PC02 ,  4J011PC08 ,  4J011QA23 ,  4J011RA10 ,  4J011RA12 ,  4J011RA14 ,  4J011SA65 ,  4J011TA08 ,  4J011TA10 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J100AJ02P ,  4J100AJ08P ,  4J100AJ09P ,  4J100AL08R ,  4J100AL10Q ,  4J100BC54R ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100DA39 ,  4J100FA03 ,  4J100FA19 ,  4J100JA38
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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