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J-GLOBAL ID：201103060799291459

浮遊電極を持つ誘導結合型マイクロプラズマ源

Inventor：
佐々木実

About 佐々木実


Applicant, Patent owner：
学校法人 トヨタ学園 豊田工業大学

About 学校法人 トヨタ学園 豊田工業大学


Agent (1)： 小沢 信助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010124388
Publication number (International publication number)：2011249289
Application date： May. 31, 2010
Publication date： Dec. 08, 2011
Summary：
【課題】 誘導結合型マイクロプラズマは、高密度プラズマが得られるが点灯が難しい問題があった。電離開始に必要な初期電子を発生させる、内部にイグナイター機構を加える方法が知られているが、専用電源を新たに用意すること、電極製作、電極と電源間の結線を必要とするため、小型化をも阻害する。【解決手段】 誘導結合型マイクロプラズマ源のガス流路内部に、浮遊電極を用意する。マイクロプラズマの励起に誘導結合を利用しているため、特別の結線を施すことなく、浮遊電極にエネルギーを供給することができる。この電極から、電離開始に必要な初期電子を発生させることができる。浮遊電極周辺からガスの電離が促進され、点灯が容易になると同時に、より省電力でプラズマを発生させることができる。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
ガス流路内部に、浮遊電極があることを特徴とする、誘導結合型マイクロプラズマ源。
IPC (4)：
H05H 1/24 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/31 ,  C23C 16/513
FI (4)：
H05H1/24 ,  H01L21/302 101C ,  H01L21/31 C ,  C23C16/513
F-Term (17)：
4K030CA07 ,  4K030FA04 ,  4K030KA14 ,  4K030KA30 ,  5F004AA16 ,  5F004BA03 ,  5F004BA20 ,  5F004BB13 ,  5F004DA22 ,  5F004DA23 ,  5F045AA08 ,  5F045AC16 ,  5F045AC17 ,  5F045BB08 ,  5F045EH04 ,  5F045EH11 ,  5F045EH18
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
  • 特許公開2005-262111 「微小なドット又はラインを備えた低融点基板、マイクロプラズマによる堆積方法及び同装置」
  • 特許公開2008-306209 「微小なラインを備えた基板」
  • 特許公開2008-198583 「プラズマ発生装置」
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Cited by examiner (1)

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