Pat
J-GLOBAL ID：201103063459018196
試料表面の電子エネルギ準位の測定方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
西教 圭一郎
, 杉山 毅至
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2000217532
Publication number (International publication number)：2002031592
Patent number：4576520
Application date： Jul. 18, 2000
Publication date： Jan. 31, 2002
Claim (excerpt)：
【請求項1】(a)原子間力顕微鏡を準備し、
この原子間力顕微鏡は、
微小なカンチレバーであって、このカンチレバーの先端には、試料に対向して配置される探針が形成されるカンチレバーと、
探針とそれに対向する試料との間に働く化学結合による引力を測定するためにカンチレバーの撓みを検出する力検出機構と、
カンチレバーに振動を与えるように配置された振動部材と、
カンチレバーの共振周波数で振動するように、振動部材を駆動する振動制御手段と、
探針に化学結合による力が作用したとき、カンチレバーの共振周波数の変化Δfを検出してその周波数変化Δfを電圧に変換する手段と、
カンチレバーの共振周波数の変化Δfに対応した電圧が予め定める値に保たれるように、探針と試料との間の距離を制御する距離制御手段とを含み、
(b)この原子間力顕微鏡を用いて、探針と試料表面との間の距離を、1nm以下に近接した予め定める距離に設定し、
この予め定める距離を設定した後に、距離制御手段によって前記予め定める距離を保った状態とし、
(c)探針と試料との間に、直流電圧を変化しつつ印加して力検出機構によって検出される探針と試料との間の相互作用引力が、2次関数的に滑らかに弯曲して変化する曲線34上に得られる極大のピーク31となる印加電圧(V1)を測定し、
探針先端の電子エネルギ準位に対して前記印加電圧(V1)だけ異なる試料表面の電子エネルギ準位を求めることを特徴とする試料表面の電子エネルギ準位の測定方法。
IPC (3)：
G01Q 60/26 ( 201 0.01)
, G01Q 80/00 ( 201 0.01)
, G01B 21/30 ( 200 6.01)
G01N 13/16 101 A
, G01N 13/10 K
, G01B 21/30
Cited by examiner (1)
-
電荷移動力検出装置及び電荷移動力検出方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平11-122801
Applicant：富士ゼロックス株式会社
Article cited by the Patent：
Return to Previous Page
