剪断力検出素子、触覚センサー、および把持装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：特許業務法人樹之下知的財産事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009267935
Publication number (International publication number)：2011112459
Application date： Nov. 25, 2009
Publication date： Jun. 09, 2011
Summary：

【課題】簡単な構成で剪断力の測定が可能な剪断力検出素子、触覚センサー、および把持装置を提供する。【解決手段】剪断力検出素子200は、矩形状の剪断力検出用開口部111、剪断力検出用開口部111の外周縁に設けられる枠部を有するセンサー基板11と、センサー基板11上に形成されて剪断力検出用開口部111を閉塞する可撓性を有する支持膜14と、センサー平面視において、剪断力検出用開口部111の長辺に沿い、剪断力検出用開口部111の内側および外側に跨って、前記支持膜14上に設けられるとともに、湾曲することで電気信号を出力する剪断力検出用圧電体210と、剪断力検出用圧電体210および支持膜14を覆う弾性膜15と、を具備した。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

剪断力を検出する剪断力検出素子であって、前記剪断力の検出方向に直交し、互いに平行する一対の直線部を有する開口部を備えた支持体と、前記支持体上に形成されて前記開口部を閉塞するとともに、可撓性を有する支持膜と、前記支持体を基板厚み方向から見る平面視において、前記開口部の一対の前記直線部のうち少なくともいずれか一方の直線部に沿い、前記開口部の内外に跨って、前記支持膜上に設けられるとともに、湾曲することで電気信号を出力する圧電体部と、前記圧電体部および前記支持膜を覆う弾性層と、を具備したことを特徴とする剪断力検出素子。

IPC (3)：

G01L 5/00 , G01L 5/16 , G01L 1/16

FI (3)：

G01L5/00 Z , G01L5/16 , G01L1/16 B

F-Term (5)：

2F051AA10 , 2F051AB08 , 2F051BA05 , 2F051BA07 , 2F051DA03

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

特許第4876240号
力センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-371561 Applicant：日本碍子株式会社
特公平4-048595

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