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J-GLOBAL ID：201103089774916606

走査型プローブ顕微鏡用探針の製造方法

Inventor： 新井 豊子 ,  富取 正彦
Applicant, Patent owner： 独立行政法人科学技術振興機構
Agent (1)： 西 義之
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2003074375
Publication number (International publication number)：2004279349
Patent number：3753701
Application date： Mar. 18, 2003
Publication date： Oct. 07, 2004
Claim (excerpt)：

【請求項1】走査型プローブ顕微鏡で用いられる探針先端を融点未満に加熱した原料基板の表面に接触させた後、探針先端を基板表面から引き離す方向に動かし、探針と基板間に引力が働いている状態で保持して、加熱した原料基板から探針の先端部への該原料の原子移動によって該原料からなる微結晶のナノピラーを、ナノピラーの成長点が細くなり、ナノピラーと基板との接触が切れるまで探針先端に成長させることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用探針の製造方法。

IPC (4)：

G01N 13/16 ( 200 6.01) ,  G01N 13/12 ( 200 6.01) ,  G12B 21/04 ( 200 6.01) ,  G12B 21/08 ( 200 6.01)

FI (4)：

G01N 13/16 C ,  G01N 13/12 D ,  G12B 1/00 601 B ,  G12B 1/00 601 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• カンチレバーの製造方法及びそれを備えた 走査型プローブ顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-058879   Applicant：株式会社ニコン