半導体ストレインゲージを用いたフレキシブルな力または圧力センサアレイ、そのフレキシブルな力または圧力センサアレイの製造方法、及びそのフレキシブルな力または圧力センサアレイを用いた力または圧力測定方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江正二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011058856
Publication number (International publication number)：2011197001
Application date： Mar. 17, 2011
Publication date： Oct. 06, 2011
Summary：

【課題】柔軟性、伸縮性、及び強固性を同時に行う半導体ストレインゲージを用いた力または圧力センサアレイを提供する。【解決手段】所定のアレイパターンで形成され、力または圧力により変形する半導体ストレインゲージと、フィルム面が互いに対向して接し、接するフィルム面の間に半導体ストレインゲージを含む一対の高分子フィルム層と、一対の高分子フィルム層のいずれか1つを絶縁層として、絶縁層の上下面に形成され、アレイパターンの各単位体111に接続され、電極を形成し、各単位体111の変形で出力される変形信号を外部に取り込む一対の信号線層とから構成される基板10と;基板10内を含むように、基板10の両面に形成される一対のエラストマ層20、30とを含む。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

複数の単位体が所定のアレイパターンで形成され、力または圧力により変形する半導体ストレインゲージと、フィルム面が互いに対向して接し、前記接するフィルム面の間に前記半導体ストレインゲージを含む一対の高分子フィルム層と、前記一対の高分子フィルム層のいずれか1つを絶縁層として、前記絶縁層の上下面に形成され、前記アレイパターンの各単位体に接続されて電極を形成し、前記各単位体の変形で出力される変形信号を外部に取り込む一対の信号線層とを備える基板と、前記基板内を含むように、前記基板の両面に形成された一対のエラストマ層とを含み、前記一対の信号線層は、前記絶縁層の一面に一方向に配列された複数の第1の信号線と、前記絶縁層の他面に前記一方向に垂直に配列された複数の第2の信号線とを含み、前記単位体の抵抗は、前記力または圧力に基づいて変化し、前記変形信号は、前記抵抗の変化に基づいて出力されることを特徴とする半導体ストレインゲージを用いたフレキシブルな力または圧力センサアレイ。

IPC (1)：

G01L 5/00

FI (1)：

G01L5/00 101Z

F-Term (4)：

2F051AA10 , 2F051AA17 , 2F051AB10 , 2F051BA07

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (7)

特開平2-085914
3次元構造体およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2008-064359 Applicant：国立大学法人東京大学, パナソニック株式会社
特開平4-204026

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