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J-GLOBAL ID：201202155822499288   Reference number：12A1461830

Layer-by-layer法により作製したa-C薄膜に関する研究

Author (4)： KATSUNO T. (岐阜大 工) ,  UEDA K. (岐阜大 工) ,  MIYAJIMA Y. (岐阜大 工) ,  NITTA S. (岐阜大 工)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
Volume： 62nd  Issue： 2  Page： 435  Publication year： Sep. 11, 2001 
JST Material Number： Y0055A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (3)： 作製 ,  薄膜 ,  研究