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J-GLOBAL ID：201202200110603637   Reference number：12A1098979

The 2012 Plasma Roadmap

2012年プラズマロードマップ

Author (16)： SAMUKAWA Seiji (Tohoku Univ., Miyagi, JPN) ,  HORI Masaru (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  RAUF Shahid (Applied Materials, Inc., CA, USA) ,  TACHIBANA Kunihide (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  BRUGGEMAN Peter (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  KROESEN Gerrit (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  WHITEHEAD J Christopher (Univ. Manchester, Manchester, GBR) ,  MURPHY Anthony B (CSIRO Materials Sci. and Engineering, NSW, AUS) ,  GUTSOL Alexander F (Chevron Energy Technol. Co., CA, USA) ,  STARIKOVSKAIA Svetlana (Ecole Polytechnique, Palaiseau, FRA) ,  KORTSHAGEN Uwe (Univ. Minnesota, MN, USA) ,  BOEUF Jean-Pierre (Univ. Toulouse, Toulouse, FRA) ,  SOMMERER Timothy J (General Electric Res., New York, USA) ,  KUSHNER Mark J (Univ. Michigan, MI, USA) ,  CZARNETZKI Uwe (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU) ,  MASON Nigel (Open Univ., Milton Keynes, GBR)
Material： Journal of Physics. D. Applied Physics  (J Phys D)
Volume： 45  Issue： 25  Page： 253001,1-37  Publication year： Jun. 27, 2012 
JST Material Number： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  Document type： Article
Article type： 文献レビュー  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *plasma ,  Physics ,  *plasma parameter ,  map (atlas) ,  plasma treatment ,  plasma diagnostics ,  plasma application ,  plasma phase synthesis ,  plasma physics ,  road map ,  *parameter
Semi thesaurus term： road map

JST classification (1)： Plasma in general  (BJ02010B)

Terms in the title (2)： プラズマ ,  ロードマップ