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J-GLOBAL ID：201202204633714861   Reference number：12A0495315

High-Speed Atomic Force Microscope by Surface Topography Observer

表面トポグラフィー観察者による高速原子間力顕微鏡

Author (2)： SHIRAISHI Takayuki (Yokohama National Univ., Yokohama, JPN) ,  FUJIMOTO Hiroshi (Univ. Tokyo, Chiba, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics  (JJAP)
Volume： 51  Issue： 2,Issue 1  Page： 026602.1-026602.7  Publication year： Feb. 25, 2012 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *atomic force microscope ,  cantilever beam ,  surface quality ,  topography ,  *control theory ,  mathematical model ,  *system observer ,  image processing ,  mode ,  simulation model ,  Computer Simulation ,  velocity ,  modern control theory ,  surface topography ,  contact mode ,  computer application ,  utilization
Semi thesaurus term： cantilever ,  contact mode ,  scan rate

JST classification (3)： System and control theory in general  (IA02010H) ,  Microscopy determination of structures  (BK01040E) ,  Atomic interactions  (BH04020U)

Reference (28)：

• 1) G. Binnig, C. F. Quate, and Ch. Gerber: Phys. Rev. Lett. 56 (1986) 930.
• 2) S. Salapaka, T. De, and A. Sebastian: Appl. Phys. Lett. 87 (2005) 053112.
• 3) G. C. Goodwin, S. F. Graebe, and M. E. Salgado: Control System Design (Prentice Hall, Upper Saddle River, NJ, 2001) p. 242.
• 4) T. Ando, T. Kodera, E. Takai, D. Maruyama, K. Saito, and A. Toda: Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 98 (2001) 12468.
• 5) N. Kodera, H. Yamashita, and T. Ando: Rev. Sci. Instrum. 76 (2005) 053708.

Terms in the title (3)： 表面トポグラフィー ,  観察者 ,  高速原子間力顕微鏡