Art

J-GLOBAL ID：201202208030022448   Reference number：12A1216960

Roll-to-Roll Manufacturing of Electronic Devices

半導体素子のroll-to-roll製造

Author (8)： MORRISON N.A. (Applied Materials GmbH & Co. KG, Alzenau, DEU) ,  STOLLEY T. (Applied Materials GmbH & Co. KG, Alzenau, DEU) ,  HERMANNS U. (Applied Materials GmbH & Co. KG, Alzenau, DEU) ,  KROEMER U. (Applied Materials GmbH & Co. KG, Alzenau, DEU) ,  REUS A. (Applied Materials GmbH & Co. KG, Alzenau, DEU) ,  LOPP A. (Applied Materials GmbH & Co. KG, Alzenau, DEU) ,  CAMPO M. (Applied Materials GmbH & Co. KG, Alzenau, DEU) ,  LANDGRAF H. (Applied Materials GmbH & Co. KG, Alzenau, DEU)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 8323  Page： 83231H.1-83231H.16  Publication year： 2012 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： semiconductor device ,  *production method ,  flexible circuit board ,  *thin film transistor ,  roll ,  plasma CVD ,  device structure ,  electrical characteristic ,  polyimide
Semi thesaurus term： silicon hydride ,  thin film devices

JST classification (1)： Transistors  (NC03070N)

Terms in the title (1)： 半導体素子