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J-GLOBAL ID：201202216770255147   Reference number：12A0543007

Synthesis and Characterization of Hard Nitride Films by Ion Beam Assisted Deposition Technique

イオンビーム支援硬質窒化物薄膜の作製と特性評価

Author (3)： UCHIDA HITOSHI (兵庫県大) ,  HANAKI SATOSHI (兵庫県大) ,  NAKATANI MASANORI (兵庫県大)
Material： プラズマ応用科学  (Applied Plasma Science)
Volume： 19  Issue： 2  Page： 85-92  Publication year： Dec. 2011 
JST Material Number： L4460A  ISSN： 1340-3214  CODEN： POKAFE  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *nitride ,  ion beam deposition ,  titanium compound ,  boron nitride ,  aluminum compound ,  boron compound ,  characterization ,  XAFS ,  X-ray photoelectron spectrum ,  Auger spectrum ,  *ceramic coating ,  infrared absorption spectrum ,  *microhardness ,  columnar crystal ,  preferred orientation ,  pin hole ,  nanoindentation ,  adhesion property ,  hard material
Semi thesaurus term： FTIR spectrum ,  Knoop hardness ,  *IBAD ,  *titanium nitride

JST classification (3)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Ceramic coating to metallic materials  (YC02050V) ,  Mechanical properties of solids in general  (BL01021C)

Reference (32)：

• 1) S. Miyake, Materia Japan, Vol. 36, (1997) pp. 771-774 (in Japanese).
• 2) C. S. Samantaray, R. N. Singh, Int. Mater. Rev.,Vol. 50 (2005) pp. 313-344.
• 3) T. Ikeda, H. Satoh, J. Japan Ins. Met., Vol. 57 (1993) pp.919-925 (in Japanese).
• 4) K. R. Kim, C. M. Suh, R. I. Murakami, C. W. Chung, Surf Coat. Technol.,Vol. 171 (2003) pp. 15-23.
• 5) S. Bhowmick, R. Bhide, M. Hoffman, V. Jayaram, S. K. Biswas, Phil. Mag., Vol. 85 (2005) pp. 2927-2945.

Terms in the title (7)： イオンビーム ,  支援 ,  硬質 ,  窒化物 ,  薄膜 ,  作製 ,  特性評価