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J-GLOBAL ID：201202225366330339   Reference number：12A0548640

Synthesis of Diamond from Gas Phase by Hot Filament CVD

熱フィラメントCVD法によるダイヤモンドの気相合成

Author (3)： OGI SUKEOMI (北九州工高専) ,  FUKUZAWA TSUYOSHI (北九州工高専) ,  HONDA KOICHI (北九州工高専)
Material： 北九州工業高等専門学校研究報告(Web)  (Research Report of National Institute of Technology, Kitakyushu College (Web))
Issue： 45  Page： 11-15 (WEB ONLY)  Publication year： Jan. 2012 
JST Material Number： U0250A  ISSN： 2185-7598  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *chemical vapor deposition ,  *Diamond ,  chemical synthesis ,  *evaporated film ,  heteroepitaxy ,  Molybdenum ,  Tungsten ,  *semiconductor thin film ,  alkane ,  gas-phase synthesis ,  *ore ,  *precious stone
Semi thesaurus term： *hot filament CVD

JST classification (1)： Semiconductor thin films  (BK14040E)

Substance index (1)： Methane

Terms in the title (3)： 熱フィラメントCVD ,  ダイヤモンド ,  気相合成