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J-GLOBAL ID：201202241934127689   Reference number：12A1754312

Effects of Interfacial Strength and Dimension of Structures on Physical Cleaning Window

物理的洗浄ウィンドウに対する構造の界面強度および寸法の影響

Author (15)： KIM Tae-Gon (Imec vzm, Leuven, BEL) ,  KIM Tae-Gon (Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL) ,  PACCO Antoine (Imec vzm, Leuven, BEL) ,  WOSTYN Kurt (Imec vzm, Leuven, BEL) ,  BREMS Steven (Imec vzm, Leuven, BEL) ,  XU XiuMei (Imec vzm, Leuven, BEL) ,  STRUYF Herbert (Imec vzm, Leuven, BEL) ,  ARSTILA Kai (Imec vzm, Leuven, BEL) ,  VANDEVELDE B. (Imec vzm, Leuven, BEL) ,  PARK Jin-Goo (Hanyang Univ., Ansan, KOR) ,  DE GENDT Stefan (Imec vzm, Leuven, BEL) ,  DE GENDT Stefan (Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL) ,  MERTENS Paul W. (Imec vzm, Leuven, BEL) ,  HEYNS Marc (Imec vzm, Leuven, BEL) ,  HEYNS Marc (Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL)
Material： Diffusion and Defect Data Part B. Solid State Phenomena  (Diffus Defect Data Part B)
Volume： 187  Page： 123-126  Publication year： 2012 
JST Material Number： T0583A  ISSN： 1012-0394  Document type： Article
Country of issue： Switzerland (CHE)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (4)： 物理 ,  洗浄 ,  ウィンドウ ,  界面強度