Art

J-GLOBAL ID：201202263007878379   Reference number：12A1711940

Fabrication of 1 Teradot/in.² CoCrPt bit patterned media and recording performance with a conventional read/write head

従来の読出し/書込みヘッドをもつ1テラドット/インチ²CoCrPtビットパターン形成媒体の作製及び記録性能

Author (7)： DOBISZ Elizabeth A. (HGST, A Western Digital Co., 3403 Yerba Buena Rd., San Jose, California 95135) ,  KERCHER Dan (HGST, A Western Digital Co., 3403 Yerba Buena Rd., San Jose, California 95135) ,  GROBIS Michael (HGST, A Western Digital Co., 3403 Yerba Buena Rd., San Jose, California 95135) ,  HELLWIG Olav (HGST, A Western Digital Co., 3403 Yerba Buena Rd., San Jose, California 95135) ,  MARINERO Ernesto E. (HGST, A Western Digital Co., 3403 Yerba Buena Rd., San Jose, California 95135) ,  WELLER Dieter (HGST, A Western Digital Co., 3403 Yerba Buena Rd., San Jose, California 95135) ,  ALBRECHT Thomas R. (HGST, A Western Digital Co., 3403 Yerba Buena Rd., San Jose, California 95135)
Material： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology & Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, & Phenomena)
Volume： 30  Issue： 6  Page： 06FH01-06FH01-8  Publication year： Nov. 2012 
JST Material Number： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *information medium ,  *pattern formation ,  *magnetic disk ,  *cobalt base alloy ,  *chromium base alloy ,  *platinum base alloy ,  electron beam lithography ,  error rate ,  carbon ,  resist ,  etching ,  simulation ,  coercive force ,  switching ,  Kerr effect ,  *magnetic recording
Semi thesaurus term： hard mask ,  bit pattern ,  bit pattern media ,  pillar ,  Monte Carlo simulation ,  hydrogen silsesquioxane

JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Electronic recording,magnetic recording,optical recording  (NC06020F)

Terms in the title (9)： 読出し ,  書込みヘッド ,  テラ ,  ドット ,  インチ ,  ビット ,  パターン形成 ,  媒体 ,  作製