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J-GLOBAL ID：201202269466900962   Reference number：12A1309721

Hard coatings of oxide ceramics for tribology with a combinatorial sputter coating system

ハードコーティング用セラミックス材料の開発-コンビナトリアルシステムによる酸化物固体潤滑剤被覆-

Author (4)： SASAKI MICHIKO (物質・材料研究機構) ,  GOTO MASAHIRO (物質・材料研究機構) ,  KASAHARA AKIRA (物質・材料研究機構) ,  TOSA MASAHIRO (物質・材料研究機構)
Material： 応用物理  (JSAP International)
Volume： 81  Issue： 9  Page： 769-773  Publication year： Sep. 10, 2012 
JST Material Number： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： paint film ,  *ceramics ,  combinatorial chemistry ,  surface treatment ,  *friction coefficient ,  sputtered deposition ,  thin film growth ,  *sputtering system ,  lubricating film ,  zinc oxide
Semi thesaurus term： *hard coat ,  *combinatorial approach

JST classification (1)： Techniques and equipment of thin film deposition  (BK14020I)

Reference (14)：

• 1) 松永正久他: 固体潤滑ハンドブック, 139 (1997).
• 2) S. Vepřek : J. Vac. Sci. Technol. A17, 2401 (1999).
• 3) 羽生博之: 表面技術63, 151(2012).
• 4) 國次真輔, 日野実, 野村博郎: 表面技術63, 157 (2012).
• 5) 野間正男: 表面技術63, 157 (2012).

Terms in the title (5)： コーティング ,  セラミックス材料 ,  開発 ,  酸化物 ,  固体潤滑剤