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J-GLOBAL ID：201202271093796102   Reference number：12A0600981

薄膜抵抗型水素センサの開発

Author (5)： OKUI TAKAHIRO (岡山大) ,  KATAYAMA FUMIYA (岡山大) ,  SAKAI KENJI (岡山大) ,  KIWA TOSHIHIKO (岡山大) ,  TSUKADA KEIJI (岡山大)
Material： 電気学会全国大会講演論文集  (Annual Meeting Record, I.E.E. Japan)
Volume： 2012  Issue： 3  Page： 207  Publication year： Mar. 05, 2012 
JST Material Number： S0653A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： photolithography ,  *gas sensor ,  *thin film ,  Platinum ,  resistance ,  voltage fluctuation ,  film production ,  evaluation test ,  bridge circuit ,  Pressure ,  measurement system ,  *hydrogen gas sensor
Semi thesaurus term： voltage variation ,  膜圧

JST classification (2)： Semiconductor thin films  (BK14040E) ,  Measuring instruments in general  (AD02000X)

Terms in the title (3)： 膜抵抗 ,  水素センサ ,  開発