Art

J-GLOBAL ID：201202294902872990   Reference number：12A1019724

Microstrip structures of ZnO nanoparticle aggregates of millimetric length formed by selected-area ion implantation and thermal oxidation

選択領域イオン注入と熱酸化によるミリメータ長ZnOナノ粒子集合体マイクロストリップ構造の形成

Author (7)： AMEKURA H (Nat. Inst. for Mater. Sci., Tsukuba) ,  WANG H-S (Nat. Inst. for Mater. Sci., Tsukuba) ,  HISHITA S (Nat. Inst. for Mater. Sci., Tsukuba) ,  PAN J (Nat. Inst. for Mater. Sci., Tsukuba) ,  KISHIMOTO N (Nat. Inst. for Mater. Sci., Tsukuba) ,  BUCHAL Ch (Forschungszentrum Julich GmbH, Juelich) ,  MANTL S (Forschungszentrum Julich GmbH, Juelich)
Material： Nanotechnology
Volume： 20  Issue： 6  Page： 065303 (6 PP.)  Publication year： 2009 
JST Material Number： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： compound semiconductor ,  band gap ,  *zinc compound ,  oxide ,  sputtering ,  Zinc ,  ion implantation ,  thermal oxidation ,  *nano particle ,  aggregate ,  *microstrip line ,  periodic structure ,  silica glass ,  substrate (plate) ,  blade (machine element) ,  groove ,  irradiation ,  induction ,  plastic deformation ,  loss ,  energy ,  energy loss ,  threshold ,  optical absorption ,  spectrum ,  photoluminescence ,  infrared spectrum ,  visible spectrum ,  exciton ,  Temperature ,  nanotechnology ,  fine patterning ,  wide band gap ,  electron energy
Semi thesaurus term： *microstrip

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (5)： イオン注入 ,  熱酸化 ,  ZnOナノ粒子 ,  集合体 ,  マイクロストリップ