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J-GLOBAL ID:201203007887389239

電気化学測定用電極およびその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 山川 政樹 ,  山川 茂樹 ,  小池 勇三
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2011043714
Publication number (International publication number):2012181085
Application date: Mar. 01, 2011
Publication date: Sep. 20, 2012
Summary:
【課題】接近させた2つの電極を用いる電気化学的測定で、電極パターンをあまり微細化することなく、高感度化ができるようにする。【解決手段】まず、ステップS101で、絶縁層の上に金属層を形成する。次に、ステップS102で、炭素材料の小片が分散した分散溶液を金属層の上に塗布して金属層の上に炭素材料からなる炭素層を形成する。次に、ステップS103で、金属層および炭素層をパターニングし、交互に入り込んで対向配置された2つの櫛形電極の上に炭素材料の層が形成された状態とする。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
絶縁層の上に金属層を形成する第1工程と、 炭素材料の小片が分散した分散溶液を前記金属層の上に塗布して前記金属層の上に前記炭素材料からなる炭素層を形成する第2工程と、 前記金属層および前記炭素層をパターニングし、2つの電極の上に前記炭素材料の層が形成された状態とする第3工程と を少なくとも備えることを特徴とする電気化学測定用電極の製造方法。
IPC (2):
G01N 27/30 ,  G01N 27/416
FI (3):
G01N27/30 B ,  G01N27/30 A ,  G01N27/46 336G
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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