電子装置およびその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：伊東忠彦 , 山口昭則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011038921
Publication number (International publication number)：2012175087
Application date： Feb. 24, 2011
Publication date： Sep. 10, 2012
Summary：

【課題】グラフェンシートを使い、大電流をオンオフできる電子装置を提供する。【解決手段】電子装置は基板と、前記基板上にゲート絶縁膜を介して形成されたグラフェンシートと、前記グラフェンシートの一端に形成されたソース電極と、前記グラフェンシートの他端に形成されたドレイン電極と、前記グラフェンシートに前記ソース領域とドレイン領域との間でゲート電圧を印加するゲート電極と、前記グラフェンシートに前記ソース電極とドレイン電極の間において、前記ソース電極からドレイン電極へのキャリアの流れを横切って形成された、複数の開口部よりなる開口部列と、を備え、前記各々の開口部では前記グラフェンシートから4個以上の炭素原子が除去されており、前記各々の開口部は、他の炭素原子に結合していない結合手を有する炭素原子を二個以上含む少なくとも5個の炭素原子からなるジグザグ形状の端部により画成されている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基板と、前記基板上にゲート絶縁膜を介して形成されたグラフェンシートと、前記グラフェンシートの一端に形成されたソース電極と、前記グラフェンシートの他端に形成されたドレイン電極と、前記グラフェンシートに前記ソース領域とドレイン領域との間でゲート電圧を印加するゲート電極と、前記グラフェンシートに前記ソース電極とドレイン電極の間において、前記ソース電極からドレイン電極へのキャリアの流れを横切って形成された、複数の開口部よりなる開口部列と、を備え、前記各々の開口部では前記グラフェンシートから4個以上の炭素原子が除去されており、前記各々の開口部は、他の炭素原子に結合していない結合手を有する炭素原子を二個以上含む少なくとも5個の炭素原子からなるジグザグ形状の端部により画成されていることを特徴とする電子装置。

IPC (2)：

H01L 29/786 , C01B 31/02

FI (3)：

H01L29/78 618B , H01L29/78 618C , C01B31/02 101Z

F-Term (28)：

4G146AA01 , 4G146AB07 , 4G146AB08 , 4G146AD22 , 4G146AD28 , 4G146CB03 , 4G146CB11 , 4G146CB15 , 4G146CB17 , 5F110AA05 , 5F110AA07 , 5F110CC07 , 5F110DD01 , 5F110DD05 , 5F110EE08 , 5F110FF02 , 5F110FF23 , 5F110GG01 , 5F110GG20 , 5F110GG22 , 5F110GG23 , 5F110GG42 , 5F110GG44 , 5F110HK02 , 5F110HK04 , 5F110HK21 , 5F110HK32 , 5F110HM04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

水素吸蔵物及びその製造と利用
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-222425 Applicant：トヨタ自動車株式会社, 笠井秀明, 中西寛, ディニョウィルソンアジェリコタン, 三浦良雄
グラフェン電子素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2011-230617 Applicant：三星電子株式会社

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

Graphene nanomesh

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