減圧処理装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (2)：池田憲保 , 福田修一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010132329
Publication number (International publication number)：2011256946
Application date： Jun. 09, 2010
Publication date： Dec. 22, 2011
Summary：

【課題】合成樹脂製のOリングは、大気雰囲気で150°C以上の高温になると、熱分解を起こし、気密性を維持できなくなることが観測された。【解決手段】処理容器と蓋体とを気密封止するOリングの外気側に、不活性ガスを流すと共に、Oリングの外気側に形成される気体通路を封止カバーによって覆う構成の外気遮断容器が得られる。更に、Oリングの接触面に、酸化アルミニウム層を形成することによって、Oリングの熱分解温度を上昇させることができる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

容器と、当該容器上に搭載される蓋体と、前記容器と前記蓋体とを気密に封止する気密構造部とを備え、前記気密構造部は、前記容器と前記蓋体との間に規定される気体通路と、該気体連通路を遮断するシール部とを有し、前記シール部は、Oリングを含むと共に、前記Oリングの外気側に設けられた封止カバーとを有することを特徴とする外気遮断容器。

IPC (2)：

F16J 15/10 , H05H 1/46

FI (4)：

F16J15/10 C , H05H1/46 A , F16J15/10 D , F16J15/10 T

F-Term (12)：

3J040AA17 , 3J040BA02 , 3J040EA15 , 3J040EA22 , 3J040FA06 , 3J040HA06 , 3J040HA07 , 3J040HA21 , 3J040HA23 , 4K030KA10 , 4K030KA46 , 4K030KA47

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

マイクロ波プラズマ処理装置、それに用いる誘電体窓部材および誘電体窓部材の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2008-048063 Applicant：国立大学法人東北大学, 東京エレクトロン株式会社
金属酸化物膜を有する金属部材及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2007-332059 Applicant：国立大学法人東北大学, 三菱化学株式会社
樹脂成型機および不働態膜を有する部材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-055909 Applicant：大見忠弘

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