Pat
J-GLOBAL ID:201203025697646667
検査装置
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (4):
西川 惠清
, 水尻 勝久
, 坂口 武
, 北出 英敏
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2010168656
Publication number (International publication number):2012026982
Application date: Jul. 27, 2010
Publication date: Feb. 09, 2012
Summary:
【課題】異常の有無を判定するだけではなく異常の種類の分類も可能にし、しかも異常の分類を行うための学習に必要な情報量を従来構成よりも低減できる検査装置を提供する。【解決手段】第1処理部1は、学習済みの第1のニューラルネットワーク101を備え検査対象信号を正常と正常以外とに分類する。第2処理部2は、学習済みの第2のニューラルネットワーク201を備え第1処理部1により正常以外に分類された検査対象信号から正常以外の領域を含む部分信号を抽出し部分信号について異常の種類を分類する。出力部3は、第1処理部1と第2処理部2とによる分類結果を出力する。第1のニューラルネットワーク101は、正常である検査対象信号のみを用いて学習され、第2のニューラルネットワーク201は、既知の異常を含む検査対象信号を用いて異常の種類を分類するように学習されている。【選択図】図1
Claim (excerpt):
学習済みの第1のニューラルネットワークを備え検査対象信号を正常と正常以外とに分類する第1処理部と、学習済みの第2のニューラルネットワークを備え前記第1処理部により正常以外に分類された検査対象信号から正常以外の領域を含む部分信号を抽出し部分信号について異常の種類を分類する第2処理部と、第1処理部と第2処理部とによる分類結果を出力する出力部とを備え、第1のニューラルネットワークは、正常である検査対象信号のみを用いて学習され、第2のニューラルネットワークは、既知の異常を含む検査対象信号を用いて異常の種類を分類するように学習されていることを特徴とする検査装置。
IPC (2):
FI (2):
G01N21/88 J
, G06T1/00 300
F-Term (17):
2G051CA04
, 2G051EA12
, 2G051EA14
, 2G051EA21
, 2G051EC01
, 2G051ED01
, 2G051ED11
, 2G051ED21
, 2G051FA01
, 5B057AA02
, 5B057DA03
, 5B057DA12
, 5B057DB02
, 5B057DB09
, 5B057DC14
, 5B057DC22
, 5B057DC40
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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軸物工具表面の欠陥検査方法および装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2008-314650
Applicant:三菱マテリアル株式会社, 国立大学法人岡山大学
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外観検査処理方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2008-166272
Applicant:パナソニック電工株式会社
-
欠陥分類方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び欠陥分類装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2008-082740
Applicant:東京エレクトロン株式会社
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