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J-GLOBAL ID：201203043379615386

非線形顕微鏡及び非線形観察方法

Inventor：
福武 直樹

About 福武 直樹


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (2)： 古谷 史旺 ,  森 俊秀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010218951
Publication number (International publication number)：2012073152
Application date： Sep. 29, 2010
Publication date： Apr. 12, 2012
Summary：
【課題】被観察物の構造を良好に反映したセクショニング画像を取得する。【解決手段】本発明の非線形顕微鏡は、光源(11)から供給される照明光を前記被観察物(10)上に集光し、その集光点(S1)にてコヒーレントな非線形光学過程を生起させる照明手段(12、16)と、前記集光点における前記非線形光学過程で発生したコヒーレントな物体光のうち、前記照明光の上流側へ向かって射出した光である反射物体光を受光し、受光した光の強度を示す信号を生成する検出手段(25-27)と、前記物体光の0次回折成分と同じ角度を有し、かつ、前記物体光と同じ波長を有したコヒーレントな光である参照光を、前記受光前の前記反射物体光と干渉させる干渉手段(17-20)と、前記被観察物中の被観察面を前記集光点で走査しながら、前記検出手段が生成する信号を繰り返し取り込み、前記被観察面上の前記信号の分布を計測する制御手段(15、40)とを備える。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
光源から供給される照明光を前記被観察物上に集光し、その集光点にてコヒーレントな非線形光学過程を生起させる照明手段と、 前記集光点における前記非線形光学過程で発生したコヒーレントな物体光のうち、前記照明光の上流側へ向かって射出した光である反射物体光を受光し、受光した光の強度を示す信号を生成する検出手段と、 前記物体光の0次回折成分と同じ角度を有し、かつ、前記物体光と同じ波長を有したコヒーレントな光である参照光を、前記受光前の前記反射物体光と干渉させる干渉手段と、 前記被観察物中の被観察面を前記集光点で走査しながら、前記検出手段が生成する信号を繰り返し取り込み、前記被観察面上の前記信号の分布を計測する制御手段と を備えることを特徴とする非線形顕微鏡。
IPC (3)：
G01N 21/65 ,  G02B 21/00 ,  G01N 21/64
FI (3)：
G01N21/65 ,  G02B21/00 ,  G01N21/64 E
F-Term (25)：
2G043AA03 ,  2G043BA16 ,  2G043EA03 ,  2G043FA02 ,  2G043GA02 ,  2G043GA04 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043HA09 ,  2G043JA02 ,  2G043KA01 ,  2G043LA02 ,  2G043NA01 ,  2H052AA08 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC27 ,  2H052AC34 ,  2H052AD07 ,  2H052AD19 ,  2H052AD34 ,  2H052AD35 ,  2H052AF02 ,  2H052AF06 ,  2H052AF25
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (4)
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