磁気抵抗素子および磁気抵抗素子の製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner： ,
Agent (2)：永井冬紀 , 渡辺隆男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012067089
Publication number (International publication number)：2012151494
Application date： Mar. 23, 2012
Publication date： Aug. 09, 2012
Summary：

【課題】従来のTMR素子に比べて磁気抵抗を大きくし、出力電圧を大きくすることを目的とする。【解決手段】磁気抵抗素子は、基板と、前記基板上に形成されたCo,Fe,Bを含む磁性合金からなる強磁性体層と、前記強磁性体層上にトンネル障壁層として(001)結晶面が優先配向した多結晶酸化マグネシウム層と、を有し、前記強磁性体層が結晶化していることに特徴がある。【選択図】図11

Claim (excerpt)：

基板と、前記基板上に形成されたCo、FeおよびBを含む磁性合金からなる強磁性体層と、前記強磁性体層上にトンネル障壁層として(001)結晶面が優先配向した多結晶酸化マグネシウム層と、を有する磁気抵抗素子であって、前記強磁性体層が結晶化していることを特徴とする磁気抵抗素子。

IPC (7)：

H01L 43/08 , H01L 29/82 , H01L 43/10 , H01L 27/105 , H01L 21/824 , H01F 10/14 , H01F 10/16

FI (7)：

H01L43/08 Z , H01L29/82 Z , H01L43/10 , H01L43/08 M , H01L27/10 447 , H01F10/14 , H01F10/16

F-Term (27)：

4M119AA15 , 4M119AA17 , 4M119BB01 , 4M119CC02 , 4M119DD33 , 4M119DD45 , 5E049AA01 , 5E049AC01 , 5E049BA11 , 5E049CB02 , 5E049DB04 , 5E049DB14 , 5E049GC01 , 5E049HC01 , 5F092AA02 , 5F092AB08 , 5F092AC12 , 5F092BB22 , 5F092BB23 , 5F092BB36 , 5F092BB42 , 5F092BB43 , 5F092BE02 , 5F092BE03 , 5F092BE06 , 5F092BE13 , 5F092BE21

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

磁気抵抗効果素子およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-259280 Applicant：キヤノンアネルバ株式会社, 独立行政法人産業技術総合研究所

Cited by examiner (1)

磁気抵抗効果素子およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-259280 Applicant：キヤノンアネルバ株式会社, 独立行政法人産業技術総合研究所

Article cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

Cited by examiner (2)

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