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J-GLOBAL ID：201203073257081670

光学特性値計測装置、光学特性値計測方法及び光学特性値計測プログラム

Inventor： 粟津 邦男 ,  石井 克典 ,  寺田 隆哉
Applicant, Patent owner： 国立大学法人大阪大学
Agent (1)： 前井 宏之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010210309
Publication number (International publication number)：2012063333
Application date： Sep. 20, 2010
Publication date： Mar. 29, 2012
Summary：

【課題】サンプルの散乱係数及び吸収係数を簡便に取得する。【解決手段】本発明による光学特性値計測装置(100)は、サンプル(S)に照射された光の一部であって、サンプル(S)において反射された反射光に基づいてサンプル(S)の反射率を測定する反射率測定部(12)と、光のうちの一部とは異なる一部であって、サンプル(S)を透過した透過光に基づいてサンプルの透過率を測定する透過率測定部(14)とを有する測定部(10)と、反射率及び透過率に基づいて散乱係数及び吸収係数を取得する取得部(20)とを備える。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

サンプルの散乱係数及び吸収係数を計測する光学特性値計測装置であって、 前記サンプルに照射された光の一部であって、前記サンプルにおいて反射された反射光に基づいて前記サンプルの反射率を測定する反射率測定部と、 前記光のうちの前記一部とは異なる一部であって、前記サンプルを透過した透過光に基づいて前記サンプルの透過率を測定する透過率測定部とを有する測定部と、 前記反射率及び前記透過率に基づいて前記散乱係数及び前記吸収係数を取得する取得部と を備える、光学特性値計測装置。

IPC (2)：

G01N 21/27 ,  G01N 21/35

FI (3)：

G01N21/27 B ,  G01N21/27 Z ,  G01N21/35 Z

F-Term (18)：

2G059AA02 ,  2G059BB04 ,  2G059BB12 ,  2G059CC18 ,  2G059DD13 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059GG01 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ16 ,  2G059JJ17 ,  2G059MM02 ,  2G059MM03