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J-GLOBAL ID：201302202408914406   Reference number：13A0784962

環境・エネルギー問題に挑戦するJFCC 低損失・省エネパワーデバイス用SiC結晶欠陥検出技術の開発

Author (11)： YAO Yong-zhao (ファインセラミックスセ) ,  ISHIKAWA YUKARI (名古屋工大 大学院工学研究科) ,  ISHIKAWA YUKARI (ファインセラミックスセ ナノ構造研) ,  SUGAWARA YOSHIHIRO (ファインセラミックスセ ナノ構造研) ,  SATO KOJI (ファインセラミックスセ 材料技研) ,  DANNO KATSUNORI (トヨタ自動車) ,  SUZUKI HIROSHI (トヨタ自動車) ,  SAKAMOTO HIDEMITSU (トヨタ自動車) ,  BESSHO TAKESHI (トヨタ自動車) ,  BESSHO TAKESHI (名古屋大 MBT研究セ) ,  BESSHO TAKESHI (大阪大)
Material： 金属  (Metals Sciece & Technology)
Volume： 83  Issue： 5  Page： 425-432  Publication year： May. 01, 2013 
JST Material Number： F0157A  ISSN： 0368-6337  CODEN： KNZKA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *silicon carbide ,  *lattice defect ,  potassium hydroxide ,  vapor ,  etching ,  *detection ,  dislocation(crystal)

JST classification (1)： Lattice defects in semiconductors  (BK12040Q)

Terms in the title (8)： 環境 ,  エネルギー問題 ,  低損失 ,  省エネ ,  パワーデバイス ,  SiC ,  結晶欠陥 ,  開発