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J-GLOBAL ID：201302213181978412   Reference number：13A1895964

Microwave absorption of ε-Fe₂O₃ precipitated from sputter deposited Fe-Si-O amorphous thin film by thermal annealing

スパッター蒸着したFe-Si-O非晶質薄膜から熱アニーリングで析出したε-Fe₂O₃のマイクロ波吸収

Author (5)： SAWADA Akinori (Fac. of Engineering, Hokkaido Univ., N13W8, Kita-ku, Sapporo 060-8628, JPN) ,  MASUBUCHI Yuji (Fac. of Engineering, Hokkaido Univ., N13W8, Kita-ku, Sapporo 060-8628, JPN) ,  MOTOHASHI Teruki (Fac. of Engineering, Hokkaido Univ., N13W8, Kita-ku, Sapporo 060-8628, JPN) ,  SASAKI Masahide (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Hokkaido 2-17-2-1, Tsukisamu-Higashi, Toyohira-ku, Sapporo ...) ,  KIKKAWA Shinichi (Fac. of Engineering, Hokkaido Univ., N13W8, Kita-ku, Sapporo 060-8628, JPN)
Material： Materials Letters  (Mater Lett)
Volume： 115  Page： 198-200  Publication year： Jan. 15, 2014 
JST Material Number： E0935A  ISSN： 0167-577X  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *magnetic thin film ,  *iron oxide ,  *epsilon phase ,  evaporated film ,  heat treatment ,  chemical composition ,  silicon oxide ,  nano particle ,  *ESR ,  ferromagnetic resonance ,  *electromagnetic wave absorption
Semi thesaurus term： *microwave absorption ,  atomic ratio ,  *ferric oxide ,  thermal annealing

JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (8)： スパッター蒸着 ,  Fe ,  Si ,  非晶質薄膜 ,  熱アニーリング ,  析出 ,  Fe2O3 ,  マイクロ波吸収