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J-GLOBAL ID：201302229349941718   Reference number：11A0035150

Evaluation of metalorganic precursors for preparing BiFeO3 thin films by liquid delivery chemical vapor deposition

液体配送化学蒸着によるBiFeO3薄膜を生成するための金属有機前駆体の評価

Author (5)： TASAKI Y ,  KANOKO T ,  KABEYA M ,  CHIFU N ,  YOSHIZAWA S
Material： INTEGRATED FERROELECTRICS
Volume： 81  Page： 281-288  Publication year： 2006 
JST Material Number： O2885A  ISSN： 1058-4587  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (6)： 配送 ,  化学蒸着 ,  BiFeO3 ,  薄膜 ,  前駆体 ,  評価