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J-GLOBAL ID：201302246224957754   Reference number：13A1942614

Tribological behavior of diamond-like carbon produced by rf-PCVD based on energetic evaluation

エネルギー的な評価に基づくrf-PCVDによって作成されたダイヤモンド状炭素のトライボロジー挙動

Author (3)： YAMAMOTO Shuji (Sankei Giken Kogyo Co., LTD, 2-5-1 Akabane-minami, Kita-ku, Tokyo 115-8555, JPN) ,  KAWANA Atsuo (Japan Coating Center Co., LTD, 1-43-34 Komatsubara, Zama, Kanagawa 252-0002, JPN) ,  MASUDA Chitoshi (Waseda Univ. Graduate School of Fundamental Sci. and Engineering, 3-4-1 Okubo, Shinjuku-ku, Tokyo 169-8555, JPN)
Material： Surface & Coatings Technology  (Surf Coat Technol)
Volume： 236  Page： 457-464  Publication year： Dec. 15, 2013 
JST Material Number： D0205C  ISSN： 0257-8972  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *diamond-like carbon ,  *tribology ,  *plasma CVD ,  *plasma ,  wafer ,  tungsten carbide ,  substrate (plate) ,  hardness ,  Young's modulus ,  friction coefficient ,  slip (mechanics) ,  distance ,  load ,  loss ,  abrasion resistance ,  surface roughness ,  energy dependence ,  wear ,  cemented carbide ,  cobalt containing alloy ,  alumina ,  *DLC film ,  alkane ,  aromatic hydrocarbon ,  *RF plasma ,  abrasion loss ,  *Si wafer ,  mechanical property ,  resistance (endure) ,  property
Semi thesaurus term： *silicon substrate ,  摺動距離 ,  input energy

JST classification (2)： Carbon and its compounds  (YB02060D) ,  Mechanical properties  (WB02030U)

Substance index (2)： Methane ,  Benzene

Terms in the title (5)： エネルギー ,  評価 ,  RF ,  ダイヤモンド状炭素 ,  トライボロジー挙動