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J-GLOBAL ID：201302252751308810   Reference number：13A1664266

革新的製造技術の新展開 スマートウィンドウ用電極材料のスパッタ成膜技術

Author (4)： ABE YOSHIO (北見工大 工) ,  KAWAMURA MIDORI (北見工大 工) ,  KIM Kyung Ho (北見工大 工) ,  LEE Kyoung Moo (北見工大 工)
Material： ケミカルエンジニヤリング  (Chemical Engineering (Tokyo))
Volume： 58  Issue： 11  Page： 811-817  Publication year： Nov. 01, 2013 
JST Material Number： F0134A  ISSN： 0387-1037  CODEN： CMNGA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： firing (heat treatment) ,  production technology ,  expansion (mathematics) ,  Glass ,  *electrode material ,  constitution ,  thin film growth ,  *sputtering ,  optical material ,  hydroxide ,  manufacturing ,  production process ,  technology development ,  cobalt compound ,  nickel compound ,  electrode ,  membrane structure ,  electrochromic materials ,  cobalt hydroxide ,  nickel hydroxide ,  thin film manufacturing ,  *smart glass ,  *film deposition
Semi thesaurus term： *smart windows ,  making technology ,  *film formation ,  manufacturing process ,  production technology

JST classification (3)： Electrolytic equipment  (XE02030E) ,  Sputtering  (BK16110U) ,  Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Terms in the title (4)： 展開 ,  ウィンドウ ,  電極材料 ,  スパッタ成膜