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J-GLOBAL ID：201302266911520154   Reference number：13A0965659

Antireflection properties of graphene layers on planar and textured silicon surfaces

平面および集合組織化シリコン表面上のグラフェン層の反射防止性質

Author (5)： KUMAR Rakesh (Indian Inst. Technol. Delhi, New Delhi, IND) ,  SHARMA A K (Indian Inst. Technol. Delhi, New Delhi, IND) ,  BHATNAGAR Mehar (Indian Inst. Technol. Delhi, New Delhi, IND) ,  MEHTA B R (Indian Inst. Technol. Delhi, New Delhi, IND) ,  RATH Shyama (Univ. Delhi, Delhi, IND)
Material： Nanotechnology
Volume： 24  Issue： 16  Page： 165402,1-8  Publication year： Apr. 26, 2013 
JST Material Number： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *carbon material ,  substrate (plate) ,  silicon ,  *plasma CVD ,  plasma ,  reflectivity ,  polishing (machining) ,  *antireflection film ,  covering ,  *silicon dioxide ,  layer ,  *finite difference time domain method ,  *graphene ,  microwave plasma ,  interlayer ,  machining

JST classification (2)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Optical properties of condensed matter in general  (BM08010A)

Terms in the title (4)： 集合組織 ,  シリコン ,  グラフェン ,  反射防止性