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J-GLOBAL ID：201302272717657211   Reference number：13A0003727

Preparation of Compositionally Gradient Cr-Al-N-O Thin Films by Pulsed Laser Deposition

パルスレーザー堆積法による傾斜組成Cr-Al-N-O薄膜の作製

Author (7)： SUZUKI TSUNEO (長岡技術科学大学極限エネルギー密度工学研究センター) ,  FUJINOKI KAZUYA (長岡技術科学大学極限エネルギー密度工学研究センター) ,  ASAMI HIROKI (長岡技術科学大学極限エネルギー密度工学研究センター) ,  HIRAI MAKOTO (長岡技術科学大学極限エネルギー密度工学研究センター) ,  YUNOGAMI TAKASHI (長岡技術科学大学極限エネルギー密度工学研究センター) ,  SUEMATSU HISAYUKI (長岡技術科学大学極限エネルギー密度工学研究センター) ,  YATSUI KIYOSHI (長岡技術科学大学極限エネルギー密度工学研究センター)
Material： 日本金属学会誌  (Journal of the Japan Institute of Metals and Materials)
Volume： 76  Issue： 6  Page： 391-396 (J-STAGE)  Publication year： 2012 
JST Material Number： G0023A  ISSN： 0021-4876  CODEN： NIKGAV  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： surface treatment ,  *coated tool ,  *ceramic coating ,  *laser deposition ,  oxide ,  nitride ,  chromium compound ,  aluminum compound ,  *functional gradient material ,  chemical composition ,  phase constitution ,  crystal structure ,  crystallinity ,  indentation hardness ,  nanoindentation ,  distribution ,  Nd-YAG laser ,  concentration distribution ,  X-ray diffractometry ,  pulsed laser deposition
Semi thesaurus term： PLD(deposition) ,  oxynitride ,  gradient composition ,  hardness distribution

JST classification (1)： Vapor plating  (WC08022K)

Reference (20)：

• 1) T. Ikeda and H. Satoh: Thin Solid Films 195 (1991) 99-110.
• 2) F. Vaz, L. Rebouta, P. Goudeau, J. Pacaud, H. Garem, J. P. Rivière, A. Cavaleiro and E. Alves: Surf. Coat. Technol. 133-134 (2000) 307-313.
• 3) I. Park and K. H. Kim: Journal Materials Processing Technol. 130-131 (2002) 254-259.
• 4) S. H. Kim, J. K. Kim and K. H. Kim: Thin Solid Films 420-421 (2002) 360-365.
• 5) E. Martinez, R. Sanjinès, A. Karimi, J. Esteve and F. Lèvy: Surf. Coat. Technol. 180-181 (2004) 570.

Terms in the title (6)： パルスレーザー堆積法 ,  傾斜組成 ,  Cr ,  Al ,  薄膜 ,  作製